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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

台军拟建高抗炸系数防护机库 港媒：这样做可能没用******

　　【环球时报综合报道】为防备解放军的导弹袭击，台军近年不断强化主要空军基地的防御。台空军规划，未来将按照“一机一库”的政策，构建高抗炸系数防护机库，“确保台军战力在战时得以发挥”。但香港《南华早报》15日称，随着解放军研制“能穿透任何强化战机基地的近程导弹，这样做可能没用。”

　　台湾《中国时报》15日称，台军为强化机库防御专门编列近44亿元新台币的预算，例如台军最大的清泉岗空军基地就规划新建36座机堡，号称是“能禁得起‘东风’导弹打击的‘抗炸机堡’”。报道称，相关抗炸指标就是“针对反制解放军‘东风’系列导弹1500磅弹头而设计”。

　　但《南华早报》引用军事分析人士的话说，解放军弹道导弹和多管火箭发射系统如今采用北斗卫星导航和终端红外成像制导，能打击任何强化的机库，并精准加以穿透。比如“东风-12”地对地战术导弹，能配备燃料空气弹头产生高温爆炸，以彻底摧毁目标。平可夫强调，这些导弹的命中误差不到1米，“台湾在面对解放军时，强化机库的一切努力都无济于事”。港媒还引用消息人士的话说，解放军已研制出一系列拥有不同打击能力、能攻击台军的近程导弹，所有弹头的命中误差都不到1米，从而极大提升了它们的打击威力。(马俊)

　　（文图：赵筱尘 巫邓炎）